»ç°Ç : ƯÇã¹ý¿ø 2006. 11. 1. ¼±°í 2005Çã10107 ÆÇ°á [°ÅÀý°áÁ¤(Ư)]
ÆÇ½Ã»çÇ× : °¡. À̸¥¹Ù ¡®¼±ÅÃ¹ß¸í¡¯ÀÇ ½Å±Ô¼º ¹× Áøº¸¼º ÆÇ´Ü¹æ¹ý
³ª. ¼±ÅÃ¹ß¸í¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ¹Ú¸·Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ Á¦Á¶¹æ¹ý¿¡ °üÇÑ Ãâ¿ø¹ß¸íÀÇ Áøº¸¼ºÀ» ºÎÁ¤ÇÑ »ç·Ê
ÆÇ°á¿äÁö : °¡. ¼±Çà ¶Ç´Â °øÁöÀÇ ¹ß¸í¿¡ ±¸¼º¿ä°ÇÀÌ »óÀ§°³³äÀ¸·Î ±âÀçµÇ¾î ÀÖ°í À§ »óÀ§°³³ä¿¡ Æ÷ÇԵǴÂ
ÇÏÀ§°³³ä¸¸À» ±¸¼º¿ä°Ç ÁßÀÇ ÀüºÎ ¶Ç´Â ÀϺηΠÇÏ´Â À̸¥¹Ù ¡®¼±ÅÃ¹ß¸í¡¯Àº, ù°, ¼±Çà¹ß¸íÀÌ
¼±Åù߸íÀ» ±¸¼ºÇÏ´Â ÇÏÀ§°³³äÀ» ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î °³½ÃÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖÀ¸¸é¼, µÑ°, ¼±ÅÃ¹ß¸í¿¡
Æ÷ÇԵǴ ÇÏÀ§°³³äµé ¸ðµÎ°¡ ¼±Çà¹ß¸íÀÌ °®´Â È¿°ú¿Í ÁúÀûÀ¸·Î ´Ù¸¥ È¿°ú°¡ Àְųª, ÁúÀûÀÎ
Â÷À̰¡ ¾ø´õ¶óµµ ¾çÀûÀ¸·Î ÇöÀúÇÑ Â÷À̰¡ ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© ƯÇ㸦 ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
³ª. ÀÌ »ç°Ç Ãâ¿ø¹ß¸íÀº ¹Ú¸·Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ Á¦Á¶¹æ¹ý¿¡ °üÇÑ °ÍÀ¸·Î, ¿¤µðµð(LDD, Lightly Doped
Drain) ¿µ¿ªÀÌ ±ÕÀÏÇÑ ÀúÇ× Å©±â¸¦ °®µµ·Ï Çϱâ À§ÇÏ¿© Àú³óµµ ºÒ¼ø¹°ÀÇ ÇÇÅ© Æ÷ÀÎÆ®¸¦ Àý ¿¬¸·À¸·Î µ¤ÀΠȰ¼ºÃþÀÇ ¡®Á߽ɡ¯¿¡ À§Ä¡Çϵµ·Ï µµÇÎÇÏ´Â °ÍÀ» ÁÖµÈ Æ¯Â¡À¸·Î Çϰí ÀÖÀ¸³ª,
À§ Ư¡ÀûÀÎ ±¸¼ºÀº ºñ±³´ë»ó¹ß¸íµé¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÀÌ¹Ì °³½ÃµÇ¾ú´Ù°í º½ÀÌ »ó´çÇÒ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó
±×·Î ÀÎÇÑ ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°úÀÇ Â÷À̰¡ ÀÖ´Ù°í º¸ÀÌÁöµµ ¾ÊÀ¸¹Ç·Î, À̸¦ °áÇÕÇÑ
Ãâ¿ø¹ß¸íÀÇ Áøº¸¼ºÀÌ ÀÎÁ¤µÇÁö ¾Æ´ÏÇÑ´Ù.
ÂüÁ¶Á¶¹® : ƯÇã¹ý Á¦29Á¶ Á¦2Ç×, Á¦1Ç×
ÂüÁ¶ÆÇ·Ê : ´ë¹ý¿ø 2003. 4. 25. ¼±°í 2001ÈÄ2740 ÆÇ°á µî ÂüÁ¶
|