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【판시사항】
출원발명의 기능적 표현에 대한 청구범위 해석상 그 기능적 표현으로 한정되는 기술적 구성이 그 밖에 청구범위에 기재된 구체적인 물건의 구성에 관한 한정 이상으로 출원발명을 한정하지 않는다고 본 사례
【판결요지】 청구기각
출원된 발명의 청구범위에 기능, 효과, 성질 등에 의하여 발명을 특정하는 기재가 포함되어 있는 경우에는 청구범위에 기재된 사항에 의하여 그러한 기능, 효과, 성질 등을 가지는 모든 발명을 의미하는 것으로 해석하는 것이 원칙이나, 청구범위에 기재된 사항은 발명의 설명이나 도면 등을 참작하여야 그 기술적 의미를 정확하게 이해할 수 있으므로, 청구범위에 기재된 용어가 가지는 특별한 의미가 명세서의 발명의 설명이나 도면에 정의 또는 설명이 되어 있는 등의 다른 사정이 있는 경우에는 그 용어의 일반적인 의미를 기초로 하면서도 그 용어에 의하여 표현하고자 하는 기술적 의의를 고찰한 다음 용어의 의미를 객관적, 합리적으로 해석하여 발명의 내용을 확정하여야 한다(대법원 2009. 7. 23. 선고 2007후4977 판결 등 참조).
출원발명의 명세서 중 발명의 설명 및 도면을 참작하면, ① 제1 쟁점 문언은 이 사건 제1항 발명의 캐리어 링의 기술적 구성은 상단 표면 상의 증착 동안 사용되는 것으로 배제하는 것이라 볼 수 없고, ② 제2 쟁점 문언으로 확정되는 기술적 구성은 이 사건 제1항 발명의 구성요소 3의 “제3 부분은 상단 표면에 대해 예각인 것”과 실질적으로 동일한 것이라고 보는 것이 타당하다. 그 이유는 아래와 같다.
1) 이 사건 제1항 발명의 캐리어 링은 기판 지지 어셈블리를 통해 도입되는 프로세스 가스들 및 기화된 화학 물질들을 기판의 하단 표면에 증착하기 위한 구조의 챔버에 적용되는 것이기는 하다. 그러나 기판의 하단 표면 상의 증착은 기판의 상단 표면 상의 증착 동안 발생되는 기판의 뒤틀림 및/또는 보우를 해결하기 위한 후공정에 적용되는 것이므로, 이 사건 제1항 발명의 캐리어 링이 일반적인 기판의 이동과 기판의 ‘상단’ 표면의 증착에도 사용되는 것을 배제하여 해석할 수 없다.
2) 이 사건 제1항 발명의 캐리어 링이 적용된 시스템에 도입되는 상단과 후단의 가스 소스만 바꾸면 해당 시스템은 상단 표면 증착 동안에도 사용될 수 있는 구조로 보이고, 선행발명 1이 개시하는 상단 표면 증착 공정 도면과도 큰 차이가 없는 것을 알 수 있다. 즉, 제1 쟁점 문언은 기판의 상단 표면 증착에도 사용될 수 있는 이 사건 제1항 발명의 캐리어 링에 기판의 하단 표면에 증착하는 공정에도 사용가능하도록 한 기능을 추가한 것에 불과한 것으로 보일 뿐이지 이 사건 제1항 발명의 캐리어 링이 기판 하단 표면 증착 동안에만 사용되는 것으로 한정하는 것이라 볼 수 없다.
3) 이 사건 출원발명의 명세서에는 제2 쟁점 문언과 같이 기판의 상단 표면에 대한 기판의 전면 및 베벨 에지에서의 증착을 감소시키거나 제거하는 구체적인 기술적 구성이 기재되어 있는데, 해당 기재에 의하면, 이 사건 출원발명의 캐리어 링이 제2 쟁점 문언과 같이 기판의 전면 및 베벨 에지에서 증착을 감소시키거나 제거할 수 있도록 하는 기술적 구성은 ㉠ ‘웨이퍼 에지와 캐리어 링 내경 사이의 최적화된 갭’과 ㉡ ‘캐리어 링의 내측 부분의 프로파일 각도 15 내지 45°’와 같은 캐리어 링이 가지는 구조라는 것을 알 수 있고, 그 밖에 이 사건 출원발명의 명세서에는 제2 쟁점 문언과 같은 기능을 뒷받침하는 다른 기술적 구성에 관한 기재가 없다.
4) 그런데 이 사건 출원발명의 명세서에는 웨이퍼 에지와 캐리어 링 내경 사이의 갭은 최적의 값이어야 한다는 사항만 기재되어 있을 뿐 그 최적화된 갭의 범위를 한정할 수 있는 최소한의 기재도 없으므로, 웨이퍼 에지와 캐리어 링의 내경 사이의 갭은 이 사건 출원발명의 캐리어 링의 기술적 구성을 실질적으로 한정하는 의미가 있다고 볼 수 없다. 결국, 이 사건 출원발명에서 제2 쟁점 문언과 관련하여 의미 있는 기술적 구성은 “캐리어 링의 내측 부분의 프로파일 각도 15 내지 45°인 것”뿐인데, 이는 이 사건 제1항 발명의 청구범위의 “제3 부분은 상단 표면에 대해 예각”이라는 기재와 실질적으로 동일한 구성이다.
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